单项选择题
刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。
A.选择性
B.均匀性
C.轮廓
D.刻蚀图案
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单项选择题
A.选择性
B.均匀性
C.轮廓
D.刻蚀图案
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