单项选择题
A.薄膜厚度 B.图形宽度 C.图形长度 D.图形间隔
A.选择性 B.均匀性 C.轮廓 D.刻蚀图案
A.光刻胶 B.衬底 C.表面硅层 D.扩散区 E.源漏区
A.刻蚀速率 B.刻蚀深度 C.移除速率 D.刻蚀时间
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