多项选择题
A.光刻胶 B.衬底 C.表面硅层 D.扩散区 E.源漏区
A.刻蚀速率 B.刻蚀深度 C.移除速率 D.刻蚀时间
A.离子 B.原子团 C.电子 D.带电粒子
A.刻蚀速率 B.选择性 C.各向同性 D.各向异性
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