多项选择题
A、抛光机B、抛光液C、抛光垫D、后清洗设备
A.利用介质去飞边毛刺B.机械磨除C.溶剂去飞边毛刺D.水去飞边毛刺
A、离子源B、吸引电极和质量分析器C、加速管D、扫描系统和终端靶室
A、注入时间B、工作温度C、注入能量D、注入剂量
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