填空题
比色法、椭圆偏振仪测试法、台阶测试、相干光波长差测量、扩展电阻测试、扫描电镜测量
Si衬底上热氧化的机理由（）模型确定。氧化反应的快慢与三个因素有关，即：（）。氧化层厚度的理论计算公式为：式中A、B为与扩散率成正比的常数，τ为由（）决定的时间修正系数。
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式中A、B为与扩散率成正比的常数，τ为由（）决定的时间修正系数。
