填空题
Si衬底上热氧化的机理由（）模型确定。氧化反应的快慢与三个因素有关，即：（）。氧化层厚度的理论计算公式为：
式中A、B为与扩散率成正比的常数，τ为由（）决定的时间修正系数。
【参考答案】
迪尔－格罗夫；温度、氧化剂浓度和表面电势；初始厚度
点击查看答案
