单项选择题
A.等离子体 B.不等离子体 C.正离子体 D.液电流
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.三氟化硼 D.硅烷 E.氧气
A.氧化 B.改变导电类型 C.涂层 D.改变材料性质 E.镀膜
A.SiF4 B.SiH4 C.CH4 D.SiC
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