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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 集成电路制造工艺员 > 集成电路制造工艺员(三级)

多项选择题

离子注入的主要气体源中,易燃、易爆的有()。

A.砷化氢
B.二硼化氢
C.三氟化硼
D.硅烷
E.氧气

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