单项选择题
A.能量（Power） B.气体（Gas） C.压力（Pressure） D.磁场（Magnet）
A.Process Chamber（反应腔） B.Loadlock Module（加载腔） C.Heating Chamber（加热腔） D.Transfer Module（中转腔）
A.G-SiNx B.P-SiNx C.N+a-SiNx D.a-Si
A.N2 B.CO C.H2 D.CO2
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