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单项选择题

CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）

A.N2
B.CO
C.H2
D.CO2

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B.Transfer Chamber
C.DSSL
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A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber
单项选择题
下列哪一项不是属于控制Dry Etch刻蚀工艺条件的元件（）

A.EPD（末端探测仪）
B.MFC（质量流量控制器）
C.Orifice（过压阀）
D.APC（自动压力控制器）
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