单项选择题

下列哪一项不属于Dry Etch工程中控制Process Chamber压力大小的部件（）

A.泵（Pump）
B.压力计（Pressure Gauge）
C.过压阀（Orifice）
D.压力自动控制器（APC）

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单项选择题

A.能量（Power）
B.气体（Gas）
C.压力（Pressure）
D.磁场（Magnet）

单项选择题

A.Process Chamber（反应腔）
B.Loadlock Module（加载腔）
C.Heating Chamber（加热腔）
D.Transfer Module（中转腔）

单项选择题

A.G-SiNx
B.P-SiNx
C.N+a-SiNx
D.a-Si