LC工程中，把两个Glass压合的工程是（）

A.泵（Pump）
B.压力计（Pressure Gauge）
C.过压阀（Orifice）
D.压力自动控制器（APC）

A.能量（Power）
B.气体（Gas）
C.压力（Pressure）
D.磁场（Magnet）

A.Process Chamber（反应腔）
B.Loadlock Module（加载腔）
C.Heating Chamber（加热腔）
D.Transfer Module（中转腔）