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单项选择题

通常被用于深紫外光刻胶的准分子激光器的光源材料是（）

A.KrF
B.F2
C.ArF
D.XeF

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单项选择题
脱水烘烤是在（）的氛围中进行烘烤。

A.真空
B.干燥氮气
C.真空或干燥氮气
D.清洁的空气
单项选择题
（）不是光刻的曝光方式。

A.接触式
B.接近式
C.投射式
D.投影式
单项选择题
投影式曝光的优势是（）

A.分辨率高
B.复印面积大
C.复印精度好
D.以上都是
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