单项选择题
A.真空B.干燥氮气C.真空或干燥氮气D.清洁的空气
A.接触式B.接近式C.投射式D.投影式
A.分辨率高B.复印面积大C.复印精度好D.以上都是
A.193nm和248nmB.190nm和240nmC.100nm和300nmD.200nm和300mm
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