单项选择题
A.氧化B.离子注入C.光刻D.抛光
A.能量B.温度C.剂量D.质量
A.30~60分钟B.10~20分钟C.60~90分钟D.100~120分钟
A.最低掺杂剂量B.临界剂量C.损伤剂量D.掺杂剂量
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