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单项选择题

注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）

A.能量
B.温度
C.剂量
D.质量

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单项选择题
掺杂后退火时间一般在（）。

A.30~60分钟
B.10~20分钟
C.60~90分钟
D.100~120分钟
单项选择题
当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

A.最低掺杂剂量
B.临界剂量
C.损伤剂量
D.掺杂剂量
多项选择题
下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）

A.Cu
B.P
C.Ag
D.Au
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