多项选择题
A.光刻胶B.Si衬底C.刻蚀气体中的碳和其它物质组成的化合物D.刻蚀溶液
A.实现电激活B.修复损伤C.提高掺杂均匀性D.加大损伤
A.四氯化硅氢还原法B.三氯氢硅氢还原法C.二氯氢硅烷法D.硅烷热分解法
A.氧化B.离子注入C.光刻D.抛光
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