多项选择题
A.实现电激活B.修复损伤C.提高掺杂均匀性D.加大损伤
A.四氯化硅氢还原法B.三氯氢硅氢还原法C.二氯氢硅烷法D.硅烷热分解法
A.氧化B.离子注入C.光刻D.抛光
A.能量B.温度C.剂量D.质量
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