多项选择题
A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描
A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法
A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射
A.阳极短路B.阳极断路C.阴极短路D.阴极断路
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