多项选择题
A.离子源是否被沾污B.真空系统是否漏气C.原材料是否满足纯度要求D.光刻胶的碱性元素沾污
A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描
A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法
A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射
微信扫一扫,加关注免费搜题
