单项选择题

光刻要求晶圆片表面存在的图案与掩膜版上的图形对准，此特性指标称为（）。

A.套准精度
B.特征尺寸
C.分辨率
D.工艺宽容度

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单项选择题

晶圆加工的基本流程顺序为（）。
（1）切片
（2）外形整理
（3）研磨
（4）倒角
（5）清洗
（6）抛光

A.（1）（2）（3）（4）（5）（6）
B.（2）（1）（4）（3）（6）（5）
C.（1）（2）（4）（3）（5）（6）
D.（2）（1）（3）（4）（6）（5）

单项选择题

A.等离子去胶
B.溶剂去胶
C.氧化去胶
D.三氯乙烯去胶

单项选择题

下图属于什么光刻机？（）

A.接触式光刻机
B.步进扫描光刻机
C.分布重复光刻机
D.接近式光刻机