多项选择题
A.图形的保真度高B.选择比越接近1：1越好C.均匀性好D.晶圆表面的洁净
A.均匀性好B.图形保真度高C.选择比低D.洁净度高
A.硫酸B.氢氟酸C.双氧水D.去离子水
A.离子源B.磁分析器C.加速管D.终端系统
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