单项选择题
A.长度和宽度B.电阻率和电导率C.浓度和结深D.结深和浓度
A.离子束中混入电子B.注入机未清洁干净C.注入过程中晶圆的倾斜角度不合适D.离子束电流检测不够精准
A.反射B.干涉C.衍射D.二氧化硅膜本身
A.外延B.热氧化C.PVDD.CVD
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