多项选择题
A.局部场氧化B.浅槽隔离C.pn结隔离D.混合隔离
A.增长光源波长B.增大分辨率系数C.减小分辨率系数D.缩短光源波长
A.RIEB.MOCVDC.溅射D.LPCVD
A.对温度不太敏感B.对温度非常敏感C.源的气相扩散的影响不大D.源气体分压的影响不大
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