多项选择题
A.薄膜生长技术B.薄膜淀积技术C.薄膜外延技术D.薄膜堆叠技术
A.溅射工艺重复性好B.溅射角度大C.溅射工艺复杂D.溅射原子迁移能力强
A.生长机理简单B.工艺重复性C.台阶覆盖能力差D.薄膜与衬底附着力小
A.蒸发温度高B.工艺设备简单C.热效率高D.高纯度淀积
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