CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）

A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber

A.EPD（末端探测仪）
B.MFC（质量流量控制器）
C.Orifice（过压阀）
D.APC（自动压力控制器）

A.刻蚀精度高
B.刻蚀速度高
C.运营成本低
D.更环保