多项选择题

直拉单晶炉的主室包括（）。

A.热绝缘筒和地盘
B.石墨加热器
C.石墨坩埚
D.石英坩埚

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多项选择题

A.通过晶转和锅转控制晶体-熔体边界层能较好的控制径向掺杂均匀度
B.熔体稳定
C.晶体直径大
D.对多晶形状要求低

多项选择题

A.升温对于物理吸附影响很小化学吸附是可逆的
B.化学吸附是不可逆的降压只是让水蒸气更容易挥发
C.物理吸附的进行吸附是可逆的
D.脱咐的进行物理吸附是不可逆的

多项选择题

A.也可用于晶体生长
B.硅也能采用水平区域提纯法
C.避免了坩埚的污染
D.熔硅不会流动是由于其很大的表面张力