多项选择题
A.接触式曝光B.接近式曝光C.扫描式曝光D.投影式曝光
A.图形的保真度高B.选择比越接近1：1越好C.均匀性好D.晶圆表面的洁净
A.均匀性好B.图形保真度高C.选择比低D.洁净度高
A.硫酸B.氢氟酸C.双氧水D.去离子水
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