单项选择题
A.铜 B.铝 C.金 D.二氧化硅
A.CF4 B.BCl3 C.Cl2 D.F2 E.CHF3
A.多晶硅 B.单晶硅 C.铝硅铜合金 D.铜
A.等离子体刻蚀 B.反应离子刻蚀 C.湿法刻蚀 D.溅射刻蚀
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