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什么是含Cl氧化，含Cl氧化的好处是什么？
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填空题
单晶硅太阳能电池采用（）表面来增加表面积，用沉积Si
3
N
4
作（）膜来降低入射光的反射，用在扩散层表面氧化生长（）nm的钝化层，改变表面层硅原子价键失配，减少表面复合，提高短路电流。用PECVD法沉积Si
3
N
4
时，反应中大量的原子H可以降低钝化层与表层硅界面的（）
填空题
圆筒式等离子刻蚀的（），适用于（）工艺；反应离子刻蚀，（），可以用通入不同的工艺气体，实现好的选择性，适合于对（）和（）的刻蚀。
填空题
干法刻蚀的终点检测有许多方法，通常采用的是（）终点检测方法。
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