简答题 如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？

列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。

问答题列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。

陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？

问答题陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？

什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？

问答题什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？