常用的溅射镀膜气体是（），射频溅射镀膜的射频频率是（）。

溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。

填空题溅射镀膜方法有（）、（）、（）、（）等。

离子对物体表面轰击时可能发生的物理过程有（）、（）、（）、（）。

填空题离子对物体表面轰击时可能发生的物理过程有（）、（）、（）、（）。

自持放电的形式有（）、（）、（）、（）。

填空题自持放电的形式有（）、（）、（）、（）。