多项选择题
A.寄生电容小B.速度快C.抗辐射能力强D.能抑制CMOS电路的闩锁效应
测量外延层厚度的方法有（）A.红外反射法B.电容法C.磨角法D.四探针法
多项选择题测量外延层厚度的方法有（）
A.红外反射法B.电容法C.磨角法D.四探针法
外延层需要检测的参数有（）A.厚度B.缺陷检测C.电阻率D.电导率
多项选择题外延层需要检测的参数有（）
A.厚度B.缺陷检测C.电阻率D.电导率
低压外延的气压可能是（）A.10paB.100paC.100kpD.10kpa
多项选择题低压外延的气压可能是（）
A.10paB.100paC.100kpD.10kpa
