单项选择题

掺杂结束后,要对硅片进行质量检测,造成硅片表面有颗粒污染的原因可能是()

A.离子束中混入电子
B.注入机未清洁干净
C.注入过程中晶圆的倾斜角度不合适
D.离子束电流检测不够精准