金属W（钨）的用途有（）。

下列属于多晶硅薄膜的特性有（）。A.扩散系数明显高于单晶硅B.晶粒尺寸大的薄膜电阻率小C.晶向唯一D.电阻率远...

多项选择题下列属于多晶硅薄膜的特性有（）。

​LPCVD系统与PECVD系统相比，它们的相同点有（）。A.产量低B.可淀积Si3N4等C.台阶覆盖好D.反...

多项选择题​LPCVD系统与PECVD系统相比，它们的相同点有（）。

‎APCVD系统的缺点有（）。‎A.均匀性差B.易发生气相反应C.台阶覆盖D.高温工艺

多项选择题‎APCVD系统的缺点有（）。‎