问答题
（1）离子源，离子源的任务是提供所需的杂质离子；（2）质量分析器，对从离子源出来的离子进行筛选；......
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湿法刻蚀和干法刻蚀的区别？
问答题湿法刻蚀和干法刻蚀的区别？
常用的CVD哪几种？说明各自的优缺点以及应用领域。
问答题常用的CVD哪几种？说明各自的优缺点以及应用领域。
双极型集成电路的工艺流程具体有哪些？
问答题双极型集成电路的工艺流程具体有哪些？
