单项选择题
A.0.6μmB.0.712μmC.0.512μmD.0.088μm
离子注入硼无需退火就有电活性,所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。
判断题离子注入硼无需退火就有电活性,所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。
关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确()A.靶温升高,临界剂量上升B.注入离子越轻,临界剂量...
多项选择题关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确()
A.靶温升高,临界剂量上升B.注入离子越轻,临界剂量越小C.注入离子剂量率增大,临界剂量降低D.注入离子能量越高,临界剂量越低
扩散系数在何时不可以看成是常数()A.在本征硅上扩散掺入中等浓度的杂质硼B.在重掺杂p型硅上扩散掺入n型杂质C...
多项选择题扩散系数在何时不可以看成是常数()
A.在本征硅上扩散掺入中等浓度的杂质硼B.在重掺杂p型硅上扩散掺入n型杂质C.在中等浓度p型硅上扩散掺入n型杂质D.在本征硅上扩散掺入高浓度的杂质硼,同时进行氧化