问答题
（1）在MOS电路中作为MOS器件的绝缘栅介质，器件的组成部分（2）扩散时的掩蔽层，离子注入的（有时与光刻胶......
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集成电路工艺划分为哪些？
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简述反应离子刻蚀。
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什么是等离子刻蚀？
问答题什么是等离子刻蚀？
