通过分析刻蚀前后刻蚀腔内的成分来判断是否达到终点的终点检测方法是（）

刻蚀氮化硅薄膜时，可以用加热的磷酸进行刻蚀，此时的温度一般设置在（）A.70～100℃B.130～150℃C....

单项选择题刻蚀氮化硅薄膜时，可以用加热的磷酸进行刻蚀，此时的温度一般设置在（）

一般情况下，刻蚀完成后需要进行的操作是（）A.曝光B.涂胶C.去胶D.显影

单项选择题一般情况下，刻蚀完成后需要进行的操作是（）

最常用的砷化橡的湿法刻蚀腐蚀液包括（）A.硫酸B.氢氟酸C.双氧水D.去离子水

多项选择题最常用的砷化橡的湿法刻蚀腐蚀液包括（）