问答题
投影掩膜版是一种透明的平板，在它上面有要转印到硅片上光刻胶层的图形。投影掩膜版只包括硅片上一部分图形，而光掩膜......
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光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
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解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
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光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？
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