湿法刻蚀适用于线条较细的工艺。

去胶时，无金属表面和金属表面会进行区分，进而采用不同的去胶方法。

判断题去胶时，无金属表面和金属表面会进行区分，进而采用不同的去胶方法。

金属钨常常采用CVD法来制备。

判断题金属钨常常采用CVD法来制备。

解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。

判断题解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。