单项选择题

反应离子刻蚀的过程简单来说是()

A.电离→解吸、排放→轰击→扩散、反应
B.轰击→电离→扩散、反应→解吸、排放
C.电离→扩散、反应→轰击→解吸、排放
D.电离→轰击→扩散、反应→解吸、排放