多项选择题
A.提高电场强度B.提高磁场强度C.延长时间D.提高速流
杂质离子注入衬底后阻挡机制有()A.分子阻挡B.离子阻挡C.原子核阻挡D.电子阻挡
多项选择题杂质离子注入衬底后阻挡机制有()
A.分子阻挡B.离子阻挡C.原子核阻挡D.电子阻挡
扩散掺杂的优点有()A.设备简单B.效率高C.成本低D.杂质纯度高
多项选择题扩散掺杂的优点有()
A.设备简单B.效率高C.成本低D.杂质纯度高
抑制通道效应的方法有()A.破坏表面硅原子的排列(预先浅注入)B.将晶圆倾斜一定的角度C.表面铺一层非结晶材质...
多项选择题抑制通道效应的方法有()
A.破坏表面硅原子的排列(预先浅注入)B.将晶圆倾斜一定的角度C.表面铺一层非结晶材质SiO2D.进行快速热退火