单项选择题
A.无序 B.稳定 C.小 D.大
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。A.正B.负C.中性D.以上答案...
单项选择题离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。
A.正 B.负 C.中性 D.以上答案都可以
在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。A.电子振荡放电B.离子自动放电C.低电压弧光放电D.双等离子...
单项选择题在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。
A.电子振荡放电 B.离子自动放电 C.低电压弧光放电 D.双等离子电弧放电
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。A.砷化氢B.二硼化氢C.四氟化硅D.三氟化磷E.五氟化磷
多项选择题离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.四氟化硅 D.三氟化磷 E.五氟化磷
