沉膜的厚度与时间呈正比。

成膜温度越高，膜层晶粒越大。

判断题成膜温度越高，膜层晶粒越大。

真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。

判断题真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。

PVD的优点是阶梯覆盖能力强。

判断题PVD的优点是阶梯覆盖能力强。