简答题 描述硅片偏置对HDPCVD方向性的影响。

解释HDPCVD，它在IC中有什么优势？

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CVD过程中采用等离子体的优点有哪些？

问答题CVD过程中采用等离子体的优点有哪些？

沉积多晶硅栅材料采用什么CVD工具，列举多晶硅作为栅电极的6个原因。

问答题沉积多晶硅栅材料采用什么CVD工具，列举多晶硅作为栅电极的6个原因。