干法刻蚀设备成本较低。

湿法刻蚀适用于线条较细的工艺。

判断题湿法刻蚀适用于线条较细的工艺。

去胶时，无金属表面和金属表面会进行区分，进而采用不同的去胶方法。

判断题去胶时，无金属表面和金属表面会进行区分，进而采用不同的去胶方法。

金属钨常常采用CVD法来制备。

判断题金属钨常常采用CVD法来制备。