用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。

为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。A.低电阻率B.易与p或n型硅形...

多项选择题为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。A.蒸镀B.溅射C.离子注入D.CV...

单项选择题（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的。

（）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。A.LPCVDB.PECVDC.CVDD.PVD

单项选择题（）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。