多项选择题
A.剂量与束流密度B.射程与注入能量C.注入角度D.晶圆
A.离子源是否被沾污B.真空系统是否漏气C.原材料是否满足纯度要求D.光刻胶的碱性元素沾污
A.静电扫描B.机械扫描C.混合扫描D.平行扫描
A.反刻法B.高温回流法C.旋涂玻璃法D.化学机械抛光法
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