多项选择题
分结深是重要的结构参数，在检验时发现超浅结注入时，判断其造成原因有（）
A.快速热退火及升温速度和保持时间是否准确
B.检查是否有沟道效应
C.检查注入能量系统
D.检查注入速度和时间是否准确
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多项选择题
A.快速热退火及升温速度和保持时间是否准确
B.检查是否有沟道效应
C.检查注入能量系统
D.检查注入速度和时间是否准确
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